0
A Nikon leszállította a világ első immerziós litográfiai berendezését
2006. február 16. 16:54
A Nikon bejelentette, hogy leszállította a világ első immerziós (merítéses) litográfiai berendezését, amely tömegtermelésben alkalmazható. A Nikon NSR-S609B nevű készülék 193 nanométeres hullámhosszúságú fényt használ.